1200度雙溫區(qū)噴霧熱解靜電收集PECVD系統(tǒng)
TL1200II-PWRJ是一款多功能的合成系統(tǒng)，針對于合成各種納米結(jié)構(gòu)氧化物以及納米材料的復(fù)合包覆工藝，這款儀器主要有6個部分組成：納米微霧發(fā)生儀，射頻電源，供氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、TL1200管式爐、高壓靜電收集裝置。此款系統(tǒng)是一款非常先進(jìn)的合成系統(tǒng)，可廣泛應(yīng)用于納米材料合成、電極材料材料包覆等
詳細(xì)技術(shù)參數(shù)
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型號 |
TL1200II-PWRJ |
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設(shè)備組成 |
1、納米微霧發(fā)生儀：配有一個2.4MHz超聲霧化儀，可將液體霧化成液體顆粒，然后導(dǎo)入到管式爐中。 2、液體流量控制裝置：注射泵或者蠕動泵 3、加熱部分（管式爐）：管式爐最高溫度可以達(dá)到1200℃。 4、射頻電源：信號頻率13.56MHz，功率500瓦 5、供氣系統(tǒng)：配有智能供氣系統(tǒng)，可任選氣體和量程 6、真空系統(tǒng)：可將腔體直徑抽到0.1Pa，具體視腔體大小而定 7、靜電收集裝置：收集罐容積1.2L,可有效地收集由流動氣體和自由沉降帶過來的納米顆粒 |
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納米微霧發(fā)生儀
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納米微霧發(fā)生儀，是一款精細(xì)霧化顆粒超聲波霧化裝置，最小霧化顆粒可達(dá)1微米以下。其采用超聲波霧化噴頭技術(shù)，可將前驅(qū)體溶液或懸浮液均勻霧化后噴入管式爐中進(jìn)行高溫?zé)岱纸庵苽涑?xì)粉體， 特性 1、霧化顆粒更細(xì)，獲得的粉體顆粒更細(xì)，最小霧化液體顆粒直徑可達(dá)500納米。 2、多種噴頭可選，可調(diào)節(jié)霧化顆粒大小。 3、適合于鹽溶液及有機溶液，液體粘稠度<1.2cps。 4、高耐腐蝕性：可適應(yīng)各種強酸強堿及有機溶劑 5、標(biāo)準(zhǔn)接口輸出噴霧，可與各種管式爐及干燥塔進(jìn)行對接。 |
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高壓靜電收集裝置
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1、電壓30000V，電流1mA 2、收料桶進(jìn)料為KF25快速接頭，出氣口為外徑8mm的寶塔接頭 3、收料桶預(yù)留一個KF25快速接頭，用于給收料桶抽真空 4、正極棒和負(fù)極桶之間通過PTFE板連接，實現(xiàn)絕緣 5、收集桶最大容積1.2L，有效容積300ml |
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蠕動泵（選配）
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流量范圍：0.0001～720ml/min 轉(zhuǎn)速范圍：0.1～150rpm 轉(zhuǎn)速分辨率：0.1rpm 轉(zhuǎn)速精度誤差：＜±0.2% 功率：＜30W 選配不同型號的泵頭，流量范圍也不同 |
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注射泵（選配）
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1、4.3寸高清液晶觸摸屏顯示及操作，可裝卡1支塑料注射器或玻璃進(jìn)樣針，注射器容量范圍寬至10μL～60mL，流量范圍0.184nL/min～83.318mL/min； 2、行程控制精度誤差＜±0.35%，多種工作模式可選 3、強大的抗電磁干擾性能，可在高壓靜電電場下連續(xù)穩(wěn)定運行；
4、RS485通訊，兼容Modbus協(xié)議，可與計算機、PLC、單片機等多種上位機組成自動化控制系統(tǒng)。
可選配不同型號的注射泵
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功率 |
5.4 KW |
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爐管尺寸 |
Dia 100(OD) X1800 mm |
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外形尺寸 （LXWXH） |
3100X700X1450mm |
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電源電壓 |
220V |
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相數(shù) |
單相 |
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加熱元件 |
國產(chǎn)優(yōu)質(zhì)電阻絲（可選配瑞典Kanthal A1進(jìn)口電阻絲） 點擊進(jìn)入資料下載 |
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控制方式 |
采用宇電程序控溫儀表（標(biāo)配） 1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。 2、具有過溫保護(hù) 斷偶保護(hù)過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,，（當(dāng)電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時，主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護(hù)電爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購軟件時標(biāo)配） 4、具有斷電保護(hù)功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能
（更換進(jìn)口儀表，需要另外付費，選購）
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爐膛材料 |
1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。 2、采用日本技術(shù)成型。 3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本成熟的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過熱工軟件模擬溫場 |
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控制精度 |
+/- 1 ℃ |
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觸發(fā)器 |
移相觸發(fā) |
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電器 |
浙江正泰 |
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可控硅 |
106/16E 德國西門康 |
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最高溫度 |
溫區(qū)一: 1200 ℃ 溫區(qū)二: 1200 ℃ |
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額定溫度 |
溫區(qū)一: 1100 ℃ 溫區(qū)二: 1100 ℃ |
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升溫速率 |
≤30 ℃/ Min （可根據(jù)要求修改） |
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推薦升溫速率 |
≤15 ℃/ Min |
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熱電偶型號 |
K型 |
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加熱段長度 |
205+205mm |
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閥門和法蘭 |
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射頻電源
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功率輸出范圍： 0-500W 最大反射功率 ： 200W 工作頻率：射頻：13.56MHZ±0.005% 功率穩(wěn)定度： +/-0.1% 諧波分量：≤-50dbc 射頻區(qū)域?qū)挾龋?-600mm 可調(diào) 匹配方式 ： 自動 冷卻方式：風(fēng)冷 噪聲： <50dB 射頻接口： 50Ω N-type 輸入電源 ： 208-240V 50/60HZ |
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供氣系統(tǒng)
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量程和氣體： 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型） 質(zhì)量流量計耐壓：3MP 流量控制精度：±1.0%F.S 重復(fù)精度：±0.2% F.S 系統(tǒng)工作壓力范圍：0.1~0.5 MPa 路數(shù)：1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路） 接頭類型： 雙卡套不銹鋼接頭 工作溫度： 5-45℃ 壓力真空表表：-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 靜態(tài)混氣室： Dia50 X 400MM 接口： Dia6 / 1/4” |
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真空系統(tǒng)
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型號：VS-0.1 電源：220V 外形尺寸： 650X650X600mm 波紋管： KF25X1000mm 用該系統(tǒng)抽爐管真空度可達(dá)： 10 -1Pa 真空擋板閥： KF25 真空泵型號：RV-4 真空泵極限分壓強：5X10-2 Pa 真空泵進(jìn)排氣接口：KF25 真空泵電機轉(zhuǎn)速：1440RPM 抽氣速率： 4L/S 電機功率：0.75KW 電阻真空計型號：ZDZ-52T 真空度測量范圍：0.1-10 5 Pa 電阻硅：ZJ-52T |
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四周表面溫度 |
≤45℃ |
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開蓋安全保護(hù)系統(tǒng) |
爐體上帶有空氣開關(guān)和保險絲 ，當(dāng)電流超過空開的額定電流時，空開會自動跳開，有效的保護(hù) |
保修期
一年保修，終身技術(shù)支持
特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不在保修期內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
注意事項
1.爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
2.由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa
3.當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)
4.進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的氣流對熱爐管的沖擊
5.對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開排氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）
1、 電阻絲
原絲 電阻絲爐膛
(1)、表面溫度高可達(dá)1420℃
(2)、表面為不銹鋼色（非常亮、客戶識別時要注意）、不會生銹，使用時間再長都不會掉渣。
(3)、電阻均衡、溫場均衡性好
電阻絲 電阻均勻 、 發(fā)熱量均衡
溫場效果好
2、安裝有空氣開關(guān)和漏電保護(hù)器：
當(dāng)電路過流或漏電時，空開會自動斷開。
3、可以與電腦連接
該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時可以調(diào)出
4、爐膛
1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
2、采用日本技術(shù)成型。
3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本成熟的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過熱工軟件模擬溫場
4、采用4周加熱，溫場更加均衡
5、可選UL認(rèn)證電氣板 （全部通過UL認(rèn)證的進(jìn)口電器）
6、認(rèn)證
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7、法蘭
鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm（選購） 可以接電阻真空計和KF25波紋管的法蘭（選購） 水冷法蘭（選購）
標(biāo)準(zhǔn)配件
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描敘 |
數(shù)量 |
圖片 |
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TL1200雙溫區(qū)管式爐 |
1 臺 |
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石英管100mm OD x 1800mm L |
1根 |
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不銹鋼法蘭 |
1 對 |
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不銹鋼爐鉤 |
1 個 |
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注射泵 |
1臺 |
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供氣系統(tǒng) |
1臺 |
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| 真空系統(tǒng) | 1臺 | |
| 射頻電源 | 1臺 | |
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高溫手套 |
1 雙 |
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納米微霧發(fā)生儀 |
1臺 |
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| Ｋ型熱電偶 | 2個 |  |
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COM轉(zhuǎn)USB接口（選配） |
1 套 |
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說明書 |
1 份 |
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軟件（選配） |
1份 |
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供氣系統(tǒng) |
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抽氣系統(tǒng) |
真空泵 |
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FX-16 |
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德國普發(fā)分子泵 |
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電阻真空計 |
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復(fù)合真空計 |
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波紋管 |
KF25 |
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KF40 |
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真空擋板閥 |
KF25 |
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KF40 |
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KF卡套 |
KF25 |
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KF40 |
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KF三通 |
KF25 |
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